+7 499 196 95 39
541
Патент 2398913
Изобретение относится к химическому нанесению покрытий осаждением паров металлических соединений, используемых в микроэлектронике. Способ получения пленки диоксида кремния включает введение в реакционную зону тетраметоксисилана и кислорода в потоке инертного газа при объемном соотношении тетраметоксисилана к кислороду, равном 1:5-10. Разложение паров тетраметоксисилана в присутствии кислорода и осаждение пленки диоксида кремния на пластинах при температуре 380-500°С при атмосферном давлении в течение 10-30 минут. Осаждение проводят на кварцевых или кремниевых пластинах. Получается однородная пленка диоксида кремния, полученная с малыми затратами энергии и без применения токсичных веществ. 1. Способ получения пленки диоксида кремния, включающий введение в реакционную зону тетраметоксисилана и кислорода, разложение паров тетраметоксисилана в присутствии кислорода и осаждение пленки диоксида кремния на пластинах, отличающийся тем, что тетраметоксисилан и кислород вводят в реакционную зону в потоке инертного газа при объемном соотношении тетраметоксисилана к кислороду, равном 1:5-10, а осаждение пленки диоксида кремния на пластинах проводят при температуре 380-500°С при атмосферном давлении. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что осаждение проводят в течение 10-30 мин. 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что осаждение проводят на кварцевых или кремниевых пластинах.
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ОРДЕНА ТРУДОВОГО КРАСНОГО ЗНАМЕНИ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ХИМИЧЕСКИХ РЕАКТИВОВ И ОСОБО ЧИСТЫХ ХИМИЧЕСКИХ ВЕЩЕСТВ "ФГУП ИРЕА" (RU)
1. Способ получения пленки диоксида кремния, включающий введение в реакционную зону тетраметоксисилана и кислорода, разложение паров тетраметоксисилана в присутствии кислорода и осаждение пленки диоксида кремния на пластинах, отличающийся тем, что тетраметоксисилан и кислород вводят в реакционную зону в потоке инертного газа при объемном соотношении тетраметоксисилана к кислороду, равном 1:5-10, а осаждение пленки диоксида кремния на пластинах проводят при температуре 380-500°С при атмосферном давлении. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что осаждение проводят в течение 10-30 мин. 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что осаждение проводят на кварцевых или кремниевых пластинах.
542
Патент 2734697
Изобретение относится к холодильной или тепловой технике, а именно к холодильным машинам или тепловым насосам, использующим магнитный материал в качестве рабочего тела и магнитокалорический эффект для охлаждения или нагрева. Устройство компенсации магнитных сил в магнитных холодильных или тепловых машинах с линейным возвратно-поступательным перемещением регенератора содержит рабочие контейнеры с магнитным материалом, через которые осуществляется продувка теплоносителя в процессе работы машины. Между рабочими контейнерами располагают компенсационные контейнеры, заполненные магнитным материалом, не участвующие в процессе теплообмена в рабочем контуре машины и служащие для компенсации усилий, возникающих при перемещении регенератора в источнике магнитного поля. Техническим результатом является минимизация магнитных сил, действующих на регенератор. Устройство компенсации магнитных сил в магнитных холодильных или тепловых машинах с линейным возвратно-поступательным перемещением регенератора, содержащее рабочие контейнеры с магнитным материалом, через которые осуществляется продувка теплоносителя в процессе работы машины, отличающееся тем, что между рабочими контейнерами располагают компенсационные контейнеры, заполненные магнитным материалом, не участвующие в процессе теплообмена в рабочем контуре машины и служащие для компенсации усилий, возникающих при перемещении регенератора в источнике магнитного поля.
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт" (RU)
Устройство компенсации магнитных сил в магнитных холодильных или тепловых машинах с линейным возвратно-поступательным перемещением регенератора, содержащее рабочие контейнеры с магнитным материалом, через которые осуществляется продувка теплоносителя в процессе работы машины, отличающееся тем, что между рабочими контейнерами располагают компенсационные контейнеры, заполненные магнитным материалом, не участвующие в процессе теплообмена в рабочем контуре машины и служащие для компенсации усилий, возникающих при перемещении регенератора в источнике магнитного поля.
543
Патент 2708002
Изобретение относится к холодильной технике, а именно к холодильным машинам, использующим магнитный материал в качестве рабочего тела и магнитокалорический эффект для охлаждения. Ротационная магнитная холодильная машина содержит корпус, внутри которого размещен ротор, систему теплоносителя, состоящую из подводящих и отводящих патрубков, и магнитную систему. В пазы ротора, вращающегося посредством сцепления зубчатой передачи с приводной шестерней, вставлены магнитнокалорические пластины, проходящие при вращении ротора через магнитное поле, образованное сверхпроводящими магнитами, расположенными вокруг корпуса и ротора. Ротор представляет собой кожух, в верхней части которого расположены отверстия для впуска теплоносителя, а нижняя закрыта кольцом отвода теплоносителя, во внутренней части которого расположены смачиваемый материал, канал движения теплоносителя, входное и выходное отверстия для прохода теплоносителя. В качестве теплоносителя используют воду. На магнитнокалорические пластины нанесено гидрофобное покрытие. Технический результат заключается в увеличении хладопроизводительности. 1. Ротационная магнитная холодильная машина, содержащая корпус, внутри которого размещен ротор, систему теплоносителя, состоящую из подводящих и отводящих патрубков, и магнитную систему, отличающаяся тем, что в пазы ротора, вращающегося посредством сцепления зубчатой передачи с приводной шестерней, вставлены магнитнокалорические пластины, проходящие при вращении ротора через магнитное поле, образованное сверхпроводящими магнитами, расположенными вокруг корпуса и ротора, при этом ротор представляет собой кожух, в верхней части которого расположены отверстия для впуска теплоносителя, а нижняя закрыта кольцом отвода теплоносителя, во внутренней части которого расположены смачиваемый материал, канал движения теплоносителя, входное и выходное отверстия для прохода теплоносителя. 2. Ротационная магнитная холодильная машина по п. 1, отличающаяся тем, что в качестве теплоносителя используют воду. 3. Ротационная магнитная холодильная машина по п. 1, отличающаяся тем, что на магнитнокалорические пластины нанесено гидрофобное покрытие.
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт" (RU)
1. Ротационная магнитная холодильная машина, содержащая корпус, внутри которого размещен ротор, систему теплоносителя, состоящую из подводящих и отводящих патрубков, и магнитную систему, отличающаяся тем, что в пазы ротора, вращающегося посредством сцепления зубчатой передачи с приводной шестерней, вставлены магнитнокалорические пластины, проходящие при вращении ротора через магнитное поле, образованное сверхпроводящими магнитами, расположенными вокруг корпуса и ротора, при этом ротор представляет собой кожух, в верхней части которого расположены отверстия для впуска теплоносителя, а нижняя закрыта кольцом отвода теплоносителя, во внутренней части которого расположены смачиваемый материал, канал движения теплоносителя, входное и выходное отверстия для прохода теплоносителя. 2. Ротационная магнитная холодильная машина по п. 1, отличающаяся тем, что в качестве теплоносителя используют воду. 3. Ротационная магнитная холодильная машина по п. 1, отличающаяся тем, что на магнитнокалорические пластины нанесено гидрофобное покрытие.
544
Патент 2511271
Изобретение относится к цинковому комплексу асимметричной этилендиамин-N,N-дипропионовой кислоты дихлорида формулы https://new.fips.ru/Archive//PAT/2014FULL/2014.04.10/DOC/RUNWC2/000/000/002/511/271/00000004-m.gif Увеличенное изображение (открывается в отдельном окне) Также предложен способ его получения. Комплекс может быть применен для решения проблем, связанных с необходимостью введения Zn2+ в хелатной форме взамен его минеральных солей, а также служить исходным продуктом для синтеза других химических соединений ряда полидентатных лигандов, в частности асимметричной этилендиамин-N,N-дипропионовой кислоты. 1. Цинковый комплекс асимметричной этилендиамин-N,N-дипропионовой кислоты дихлорид формулы http://new.fips.ru/Archive/PAT/2014FULL/2014.04.10/DOC/RUNWC2/000/000/002/511/271/00000002-m.gif Увеличенное изображение (открывается в отдельном окне). 2. Способ получения цинкового комплекса асимметричной этилендиамин-N,N-дипропионовой кислоты дихлорида, заключающийся в том, что к водному раствору хлористого цинка при перемешивании добавляют эквимолярное по отношению к хлористому цинку количество этилендиамина, после чего реакционную массу охлаждают до температуры 40-45°С, разбавляют водой, а затем добавляют акриловую кислоту в 6-10%-ом избытке от стехиометрического по отношению к этилендиамину, нагревают реакционную массу до температуры 55-60°С и выдерживают при перемешивании при этой температуре до выпадения осадка целевого продукта. 3. Способ по п.2, заключающийся в том, что реакционную массу после охлаждения до температуры 40-45°С разбавляют водой в объеме, равном объему добавляемой акриловой кислоты. 4. Способ по п.2, заключающийся в том, что целевой продукт выделяют фильтрацией, осадок на фильтре промывают дистиллированной водой, затем метанолом.
Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный Ордена Трудового Красного Знамени научно-исследовательский институт химических реактивов и особо чистых химических веществ" (RU)
1. Цинковый комплекс асимметричной этилендиамин-N,N-дипропионовой кислоты дихлорид формулы http://new.fips.ru/Archive/PAT/2014FULL/2014.04.10/DOC/RUNWC2/000/000/002/511/271/00000002-m.gif Увеличенное изображение (открывается в отдельном окне). 2. Способ получения цинкового комплекса асимметричной этилендиамин-N,N-дипропионовой кислоты дихлорида, заключающийся в том, что к водному раствору хлористого цинка при перемешивании добавляют эквимолярное по отношению к хлористому цинку количество этилендиамина, после чего реакционную массу охлаждают до температуры 40-45°С, разбавляют водой, а затем добавляют акриловую кислоту в 6-10%-ом избытке от стехиометрического по отношению к этилендиамину, нагревают реакционную массу до температуры 55-60°С и выдерживают при перемешивании при этой температуре до выпадения осадка целевого продукта. 3. Способ по п.2, заключающийся в том, что реакционную массу после охлаждения до температуры 40-45°С разбавляют водой в объеме, равном объему добавляемой акриловой кислоты. 4. Способ по п.2, заключающийся в том, что целевой продукт выделяют фильтрацией, осадок на фильтре промывают дистиллированной водой, затем метанолом.
545
Патент 2790540
Изобретение относится к экологии и биотехнологии, в частности к устройствам для исследования воды, и может применяться для оценки чистоты воды, в том числе ее микробиологических показателей качества. Заявленное оптоволоконное устройство для оценки чистоты воды содержит основной лазер, лазер пробного луча, световоды и кювету с водой. При этом основной лазер по ходу луча последовательно через световод подключен к оптическому смесителю, оптическому делителю и через конечный световод к кювете с анализируемой водой, а лазер пробного луча подключен к оптическому смесителю. Оптический ответвитель по световоду через фотоприемник подключен к индикатору степени чистоты воды. В качестве основного лазера применяется инфракрасный лазер, обеспечивающий коэффициент поглощения 5 1/см или более, а в качестве лазера пробного луча лазер света видимого диапазона. В качестве индикатора степени чистоты воды применен частотомер. Технический результат - создание устройства для оценки чистоты воды с высокой чувствительностью, позволяющего проводить точное оперативное измерение чистоты воды путем погружения торца оптического волокна в пробу воды. 2 з.п. ф-лы, 2 ил.
Федеральное государственное учреждение "Федеральный научно-исследовательский центр "Кристаллография и фотоника" Российской академии наук" (RU)
Изобретение относится к экологии и биотехнологии, в частности к устройствам для исследования воды, и может применяться для оценки чистоты воды, в том числе ее микробиологических показателей качества. Заявленное оптоволоконное устройство для оценки чистоты воды содержит основной лазер, лазер пробного луча, световоды и кювету с водой. При этом основной лазер по ходу луча последовательно через световод подключен к оптическому смесителю, оптическому делителю и через конечный световод к кювете с анализируемой водой, а лазер пробного луча подключен к оптическому смесителю. Оптический ответвитель по световоду через фотоприемник подключен к индикатору степени чистоты воды. В качестве основного лазера применяется инфракрасный лазер, обеспечивающий коэффициент поглощения 5 1/см или более, а в качестве лазера пробного луча лазер света видимого диапазона. В качестве индикатора степени чистоты воды применен частотомер. Технический результат - создание устройства для оценки чистоты воды с высокой чувствительностью, позволяющего проводить точное оперативное измерение чистоты воды путем погружения торца оптического волокна в пробу воды. 2 з.п. ф-лы, 2 ил.
546
2852586
Изобретение относится к электрогенерирующим установкам на элементах Пельтье и может быть использовано в качестве источника электроэнергии для питания датчиков автономных пунктов в целях мониторинга технологических параметров на удаленных объектах, например, на магистральных газопроводах. Предложена конструкция термоэлектрического генератора, состоящего из термоэлектрических элементов и радиаторов охлаждения, прижатых к охлаждаемой стороне термоэлектрических элементов, причем термоэлектрические элементы расположены симметрично относительно оси устройства на внешней цилиндрической поверхности аксиального распределителя тепла. Аксиальный распределить тепла представляет собой полый цилиндрический диск, имеющий центральное сквозное отверстие, в которое вставлен элемент беспламенного горения, представляющий собой цилиндрическую камеру, имеющую с торцов сеточные ограничители, пространство между которыми заполнено керамической насадкой. Керамическая насадка выполнена из корунда или муллита. Технический результат - оптимизация температурного режима работы элементов Пельтье, работающих в режиме эффекта Зеебека - генерации электроэнергии, увеличение суммарной мощности устройства, обеспечение возможности автономной работы устройства на удаленных объектах.
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт" (RU)
"1. Термоэлектрический генератор, состоящий из термоэлектрических элементов и радиаторов охлаждения, прижатых к охлаждаемой стороне термоэлектрических элементов, отличающийся тем, что термоэлектрические элементы расположены симметрично относительно центральной оси устройства на внешней цилиндрической поверхности аксиального распределителя тепла, представляющего собой полый цилиндрический диск, имеющий центральное сквозное отверстие с диаметром существенно меньшим, чем внешний диаметр самого диска, при этом в центральное отверстие вставлен элемент беспламенного горения, представляющий собой цилиндрическую камеру, имеющую с торцов сеточные ограничители, пространство между которыми заполнено керамической насадкой, в которую со стороны подачи воздуха входит патрубок подачи топлива, а также калильный элемент поджига. 2. Термоэлектрический генератор по п. 1, отличающийся тем, что керамическая насадка выполнена из пористого корунда или муллита. 3. Термоэлектрический генератор по пп. 1, 2, отличающийся тем, что керамическая насадка может быть выполнена с каталитическим покрытием."
547
Патент 2629561
Изобретение относится к электролизеру, содержащему корпус с электролитом с размещенными в нем электролизной ячейкой с анодом, катодом и мембраной, разделяющей объем электролизной ячейки на анодное и катодное пространства, анодный контур циркуляции электролита, включающий емкость с электролитом и теплообменник, сепараторы водорода и кислорода, магистрали подвода воды и отвода кислорода и водорода, отличающемуся тем, что электролизер содержит катодный контур циркуляции, совмещенный с анодным контуром циркуляции таким образом, что катодная емкость с электролитом соединена через анодный теплообменник с анодным пространством, а анодная емкость с электролитом соединена с катодным пространством через катодный теплообменник, и байпасную линию, соединяющую катодную емкость с электролитом через кран-регулятор и катодный теплообменник с катодным пространством. Также изобретение относится к каскаду электролизеров. Использование предлагаемого изобретения позволяет снизить удельный расход электроэнергии на производство водорода, увеличить ресурс работы электролизера и возможность эффективного использования предлагаемого технического решения в установках разделения изотопов водорода. 1. Электролизер, содержащий корпус с электролитом с размещенными в нем электролизной ячейкой с анодом, катодом и мембраной, разделяющей объем электролизной ячейки на анодное и катодное пространства, анодный контур циркуляции электролита, включающий емкость с электролитом и теплообменник, сепараторы водорода и кислорода, магистрали подвода воды и отвода кислорода и водорода, отличающийся тем, что электролизер содержит катодный контур циркуляции, совмещенный с анодным контуром циркуляции таким образом, что катодная емкость с электролитом соединена через анодный теплообменник с анодным пространством, а анодная емкость с электролитом соединена с катодным пространством через катодный теплообменник, и байпасную линию, соединяющую катодную емкость с электролитом через кран-регулятор и катодный теплообменник с катодным пространством. 2. Каскад электролизеров по п. 1, отличающийся тем, что в него включены водородный и кислородный холодильники, вход которых соединен соответственно с выходом водородного и кислородного сепараторов, выходы водорода и кислорода из холодильников соединены с входом дожигателя, совмещенного с конденсатором пара, а выходы конденсата из холодильников соединены через насос обогащенной воды со входом крана-регулятора, один выход которого соединен с магистралью подачи обогащенной воды в следующий электролизер, а второй выход соединен с входом анодного пространства, выход конденсатора пара соединен с магистралью подачи обедненной воды на предыдущий электролизер.
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт" (RU)
1. Электролизер, содержащий корпус с электролитом с размещенными в нем электролизной ячейкой с анодом, катодом и мембраной, разделяющей объем электролизной ячейки на анодное и катодное пространства, анодный контур циркуляции электролита, включающий емкость с электролитом и теплообменник, сепараторы водорода и кислорода, магистрали подвода воды и отвода кислорода и водорода, отличающийся тем, что электролизер содержит катодный контур циркуляции, совмещенный с анодным контуром циркуляции таким образом, что катодная емкость с электролитом соединена через анодный теплообменник с анодным пространством, а анодная емкость с электролитом соединена с катодным пространством через катодный теплообменник, и байпасную линию, соединяющую катодную емкость с электролитом через кран-регулятор и катодный теплообменник с катодным пространством. 2. Каскад электролизеров по п. 1, отличающийся тем, что в него включены водородный и кислородный холодильники, вход которых соединен соответственно с выходом водородного и кислородного сепараторов, выходы водорода и кислорода из холодильников соединены с входом дожигателя, совмещенного с конденсатором пара, а выходы конденсата из холодильников соединены через насос обогащенной воды со входом крана-регулятора, один выход которого соединен с магистралью подачи обогащенной воды в следующий электролизер, а второй выход соединен с входом анодного пространства, выход конденсатора пара соединен с магистралью подачи обедненной воды на предыдущий электролизер.
548
Патент 2530442
Изобретение относится к электронике и предназначено для создания материала на основе полупроводниковых наночастиц, обладающего газочувствительным термоэлектрическим эффектом, т.е. величина термо-ЭДС наноматериала может быть чувствительной к различным газам во внешней атмосфере. Изобретение может использоваться в термоэлектрических устройствах, преобразующих тепловую энергию в электрическую, а также при разработки газочувствительных сенсоров. Технический результат: расширение функциональных возможностей материала за счет увеличение термо-ЭДС до 1,3 мВ/K при рабочей температуре 330 К и до 1,1 мВ/K при рабочей температуре 500 К. Сущность: способ заключается в изготовлении пленки толщиной не более 200 нм из полупроводниковых наночастиц SnO2 размером не более 50 нм. После изготовления пленку из наночастиц SnO2 отжигают при температуре 330 ± 20 К или 500±20 К в течение не менее 15 минут в кислородосодержащей атмосфере с последующим охлаждением до комнатной температуры со скоростью не менее 10 К/с. 1. Способ получения термоэлектрического газочувствительного материала, заключающийся в изготовлении пленки толщиной не более 200 нм из полупроводниковых наночастиц SnO2 с размером не более 50 нм, отличающийся тем, что после изготовления пленку из наночастиц SnO2 отжигают при температуре 330±20 К или 500±20 К в течение не менее 15 минут в кислородосодержащей атмосфере, с последующим охлаждением до комнатной температуры со скоростью не менее 10 К/с. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что отжиг проводят в воздухе.
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт" (RU)
1. Способ получения термоэлектрического газочувствительного материала, заключающийся в изготовлении пленки толщиной не более 200 нм из полупроводниковых наночастиц SnO2 с размером не более 50 нм, отличающийся тем, что после изготовления пленку из наночастиц SnO2 отжигают при температуре 330±20 К или 500±20 К в течение не менее 15 минут в кислородосодержащей атмосфере, с последующим охлаждением до комнатной температуры со скоростью не менее 10 К/с. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что отжиг проводят в воздухе.
549
Патент 2555859
Изобретение относится к электронике и предназначено для создания устройств, преобразующих химическую реакцию адсорбированных молекул топливного газа (пара) и кислорода (или воздуха) в электрический сигнал. Может быть использовано для разработки малогабаритных элементов питания электронной аппаратуры в виде однокамерных топливных элементов, состоящих из рабочей камеры, имеющей вход топливно-воздушной газовой смеси и выход газа, внутри которой расположена композитная пленка с электрическими контактами, соединенными с внешней нагрузкой, пространство между которыми заполнено проводящим материалом. В качестве проводящего материала используют нанокомпозитный материал, состоящий из непроводящей полимерной пленки полипропилена и проводящего наполнителя на основе углеродных нанотрубок. Концентрация углеродных нанотрубок с проводимостью р-типа составляет около 0,5-5% вблизи порога перколяции. Нанокомпозитный материал может содержать каталитические наночастицы Pt или Pd, или Rh, или Ru. Также предложен способ получения проводящего нанокомпозитного материала, заключающийся в смешивании УНТ и полимерного материала, после чего выдерживают нанокомпозитный материал под внешним напряжением 4-10 В в течение 2-30 мин в атмосфере насыщенных паров ацетона Повышение плотности тока в активном слое является техническим результатом изобретения. 1. Однокамерный топливный элемент, состоящий из рабочей камеры, имеющей вход топливно-воздушной газовой смеси и выход газа, внутри которой расположены электрические контакты, соединенные с внешней нагрузкой, пространство между которыми заполнено проводящим материалом, отличающийся тем, что в качестве проводящего материала используют нанокомпозитный материал, состоящий из непроводящей полимерной пленки и проводящего наполнителя на основе углеродных нанотрубок. 2. Однокамерный топливный элемент по п.1, отличающийся тем, что объемное содержание УНТ с проводимостью р-типа в композите составляет 0,5-5%. 3. Однокамерный топливный элемент по п.1, отличающийся тем, что в качестве непроводящей полимерной пленки используют полипропилен. 4. Однокамерный топливный элемент по п.1, отличающийся тем, что нанокомпозитный материал содержит каталитические наночастицы Pt или Pd, или Rh, или Ru. 5. Способ получения проводящего нанокомпозитного материала, заключающийся в смешивании углеродных нанотрубок (УНТ) и полимерного материала, отличающийся тем, что после смешивания выдерживают нанокомпозитный материал под внешним напряжением 4-10 В в течение 2-30 мин в атмосфере насыщенных паров ацетона, при этом объемное содержание УНТ с проводимостью р-типа в композите составляет 0,5-5%. 6. Способ по п.5, отличающийся тем, что в качестве полимерного материала используют полипропилен. 7. Способ по п.5, отличающийся тем, что в нанокомпозитный материал вводят каталитические наночастиц из ряда Pt, Pd, Rh, Ru.
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт" (RU)
1. Однокамерный топливный элемент, состоящий из рабочей камеры, имеющей вход топливно-воздушной газовой смеси и выход газа, внутри которой расположены электрические контакты, соединенные с внешней нагрузкой, пространство между которыми заполнено проводящим материалом, отличающийся тем, что в качестве проводящего материала используют нанокомпозитный материал, состоящий из непроводящей полимерной пленки и проводящего наполнителя на основе углеродных нанотрубок. 2. Однокамерный топливный элемент по п.1, отличающийся тем, что объемное содержание УНТ с проводимостью р-типа в композите составляет 0,5-5%. 3. Однокамерный топливный элемент по п.1, отличающийся тем, что в качестве непроводящей полимерной пленки используют полипропилен. 4. Однокамерный топливный элемент по п.1, отличающийся тем, что нанокомпозитный материал содержит каталитические наночастицы Pt или Pd, или Rh, или Ru. 5. Способ получения проводящего нанокомпозитного материала, заключающийся в смешивании углеродных нанотрубок (УНТ) и полимерного материала, отличающийся тем, что после смешивания выдерживают нанокомпозитный материал под внешним напряжением 4-10 В в течение 2-30 мин в атмосфере насыщенных паров ацетона, при этом объемное содержание УНТ с проводимостью р-типа в композите составляет 0,5-5%. 6. Способ по п.5, отличающийся тем, что в качестве полимерного материала используют полипропилен. 7. Способ по п.5, отличающийся тем, что в нанокомпозитный материал вводят каталитические наночастиц из ряда Pt, Pd, Rh, Ru.
550
Патент 2426193
Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано в процессах формирования пленочных элементов микроэлектронных устройств. Сущность изобретения: в способе нанесения платиновых слоев на подложку, включающем предварительное формирование на поверхности из оксида и/или нитрида кремния промежуточного адгезионного слоя из смеси нанокристаллов диоксида кремния и платины. Промежуточный адгезионный слой может быть сформирован толщиной 1-30 нанометров одновременным магнетронным распылением из двух магнетронов с мишенями из платины и диоксида кремния, соответственно. Изобретение обеспечивает повышение качества элементов, технологичности процессов, надежности при длительных сроках эксплуатации, адгезии наносимых слоев к подложке. 1. Способ нанесения платиновых слоев на подложку, включающий предварительное формирование на поверхности из оксида и/или нитрида кремния промежуточного адгезионного слоя, отличающийся тем, что адгезионный слой формируют из смеси нанокристаллов диоксида кремния и платины. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что адгезионный слой формируют толщиной 1-30 нм. 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что адгезионный слой формируют одновременным магнетронным распылением из двух магнетронов с мишенями из платины и диоксида кремния, соответственно. 4. Способ по п.1, отличающийся тем, что адгезионный слой формируют магнетронным распылением с использованием платиновой мишени, часть поверхности которой закрывают пластиной из диоксида кремния. 5. Способ по п.4, отличающийся тем, что после формирования адгезионного слоя с поверхности мишени удаляют пластину из диоксида кремния и после этого наносят основную часть платинового слоя магнетронным распылением платины. 6. Способ по п.3, отличающийся тем, что после формирования адгезионного слоя с мишенями из платины и диоксида кремния, соответственно, выключают магнетрон с мишенью из диоксида кремния и после этого проводят нанесение основной части платинового слоя. 7. Способ по п.1, отличающийся тем, что нанесение платинового слоя проводят в смеси кислорода и инертного газа, содержащей 5-50 об.% кислорода. 8. Способ по п.5 или 6, отличающийся тем, что после нанесения основной части платинового слоя производят стабилизирующий отжиг, для чего подложку помещают в печь, повышают температуру со скоростью не более 200°С в час до 650°С, затем выдерживают ее при 650°С в течение не менее 2 ч до полного разложения оксидов платины, затем температуру повышают со скоростью не более 200°С в час до 850°С, после чего выдерживают при 850°С в течение 2 ч и понижают температуру до комнатной со скоростью не более 200°С в час.
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт" (RU)
1. Способ нанесения платиновых слоев на подложку, включающий предварительное формирование на поверхности из оксида и/или нитрида кремния промежуточного адгезионного слоя, отличающийся тем, что адгезионный слой формируют из смеси нанокристаллов диоксида кремния и платины. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что адгезионный слой формируют толщиной 1-30 нм. 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что адгезионный слой формируют одновременным магнетронным распылением из двух магнетронов с мишенями из платины и диоксида кремния, соответственно. 4. Способ по п.1, отличающийся тем, что адгезионный слой формируют магнетронным распылением с использованием платиновой мишени, часть поверхности которой закрывают пластиной из диоксида кремния. 5. Способ по п.4, отличающийся тем, что после формирования адгезионного слоя с поверхности мишени удаляют пластину из диоксида кремния и после этого наносят основную часть платинового слоя магнетронным распылением платины. 6. Способ по п.3, отличающийся тем, что после формирования адгезионного слоя с мишенями из платины и диоксида кремния, соответственно, выключают магнетрон с мишенью из диоксида кремния и после этого проводят нанесение основной части платинового слоя. 7. Способ по п.1, отличающийся тем, что нанесение платинового слоя проводят в смеси кислорода и инертного газа, содержащей 5-50 об.% кислорода. 8. Способ по п.5 или 6, отличающийся тем, что после нанесения основной части платинового слоя производят стабилизирующий отжиг, для чего подложку помещают в печь, повышают температуру со скоростью не более 200°С в час до 650°С, затем выдерживают ее при 650°С в течение не менее 2 ч до полного разложения оксидов платины, затем температуру повышают со скоростью не более 200°С в час до 850°С, после чего выдерживают при 850°С в течение 2 ч и понижают температуру до комнатной со скоростью не более 200°С в час.