Изобретения

Изобретение относится к области электротехники, а именно к способу изготовления высокопористого электрода микробного биотопливного элемента. Повышение удельной поверхности, механической прочности и электропроводности электрода является техническим результатом изобретения, который достигается тем, что готовят суспензию из хитозана концентрацией 1-2 мас.%, в которую добавляют оксид графена или углеродные нанотрубки в количестве 1-5% от массы полимера, или технический углерод в количестве 1-20% от массы полимера, с последующим перемешиванием, добавляют раствор глуатаровый альдегид в количестве 0,5-1,5% от массы полимера с последующим перемешиванием 3-5 мин со скоростью 100 об/мин, после чего полученную суспензию замораживают в жидком азоте до полного замерзания, высушивают в камере лиофильной сушки при давлении 0,220 бар 48 часов с понижением давления до 0,010 мбар и сушкой 2 часа. Полученный композиционный материал имеет размер пор 15-200 мкм, удельную площадь поверхности 5-8 м2/г, модуль Юнга 0,9-3,5 МПа, электропроводность 0,01-0,5 мСм, что обеспечивает эффективность электрода, применяемого для иммобилизации клеток микроорганизмов на нем. 2 ил., 3 пр. Способ изготовления высокопористого электрода микробного биотопливного элемента, включающий получение сузпензии из полимера - хитозана путем растворения его в 1,5-3% растворе уксусной кислоты с дальнейшим перемешиванием 150-200 об/мин до получения раствора с концентрацией 1-2 мас.%, добавление филлера, в качестве которого применяют восстановленный оксид графена или углеродные нанотрубки в количестве 1-5% от массы полимера или технический углерод в количестве 1-20% от массы полимера, перемешивание со скоростью 100-150 об/мин в течение 24 часов, обработку ультразвуком в течение 50-70 минут в случае использования углеродных нанотрубок или 10-20 мин в случаях использования восстановленного оксида графена или технического углерода, добавление в раствор глутарового альдегида в количестве 0,5-1,5% от массы полимера с последующим перемешиванием 3-5 мин со скоростью 100 об/мин, направленную заморозку в жидком азоте до полного замерзания, высушивание в камере лиофильной сушки при давлении 0,220 бар 48 часов с последующим понижением давления до 0,010 мбар и сушкой 2 часа.

Федеральное государственное бюджетное учреждение "Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт" (RU)

Использование: для изготовления микро- и наномеханических балок, обладающих заданным изгибом. Сущность изобретения заключается в том, что способ включает нанесение жертвенного слоя на подложку, последовательное нанесение двух или более слоев материала балки, отличающихся величиной внутренних механических напряжений, формирование балки на поверхности жертвенного слоя с помощью фотолитографии и травления материала балки, удаление жертвенного слоя из-под балки, нанесение слоев материала балки выполняют методом высокочастотного магнетронного распыления мишени, а разные внутренние механические напряжения в слоях обеспечивают за счет разных значений напряжения постоянного смещения на подложке, при которых наносят слои, при этом заданный изгиб балки достигают путем подбора толщин слоев материала балки, значений напряжения смещения и количества слоев. Технический результат заключается в расширении возможностей изготовления МЭМС/НЭМС балок с заданным изгибом. 2 з.п. ф-лы, 7 ил.

Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технологический институт Российской академии наук (ФТИАН РАН) (RU)

Изобретение относится к биотехнологии. Предложен способ извлечения липидов из микроводоросли рода Chlorella и дрожжей Yarrowia lipolytica для получения биодизельного топлива. Способ включает дополнение стадии культивирования микроводорослей Chlorella стадией культивирования дрожжей Yarrowia lipolytica W23. Липидную фракцию экстрагируют органическими растворителями хлороформ-метанол в соотношении 2:1-1:2 из биомассы микроводоросли и дрожжей, причем остаточную биомассу микроводоросли и остаточную биомассу дрожжей подвергают гидролизу при температуре 80-140°C в течение 20-90 минут и в виде водной суспензии используют в качестве питательной среды для выращивания дрожжей Yarrowia lipolytica W23. Изобретение обеспечивает получение высокого выхода липидов – до 37% по сухому весу. 1. Способ извлечения липидов из биомассы микроводоросли рода Chlorella и дрожжей Yarrowia lipolytica, заключающийся в том, что биомассу микроводоросли отделяют от культуральной среды, обрабатывают органическими растворителями для экстракции липидной фракции, а остаточную биомассу микроводоросли направляют на дальнейшую переработку, причем остаточную биомассу микроводоросли подвергают гидролизу и в виде водной суспензии используют в качестве питательной среды для выращивания дрожжей Yarrowia lipolytica W23, после чего биомассу дрожжей отделяют от культуральной среды и экстрагируют из нее липидную фракцию, а остаточную биомассу дрожжей подвергают гидролизу и направляют на стадию их выращивания. 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве органического растворителя используют хлороформ-метанол в соотношении 2:1-1:2. 3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что биомассу микроводоросли Chlorella подвергают гидролизу при 80-140°C 20-90 минут. 4. Способ по п. 1, отличающийся тем, что остаточную биомассу дрожжей Yarrowia lipolytica W23 подвергают гидролизу при 80-140°C 20-90 минут. 5. Способ по п. 1, отличающийся тем, что используют 5%-20% водную суспензию остаточной биомассы микроводоросли. 6. Способ по п. 1, отличающийся тем, что количество остаточной биомассы дрожжей в питательной среде для их выращивания составляет 5-10%.

Федеральное государственное бюджетное учреждение "Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт" (RU)

Настоящее изобретение относится к безопасности компьютерных сетей, включая несанкционированный доступ к интернет-ресурсам, а именно к способам формирования изображений и видам заданий пользователю при прохождении пользователем полностью автоматизированного теста Тьюринга (САРТСНА). Технический результат заключается в обеспечении безопасного доступа к интернет-ресурсам. Такой результат достигается тем, что в качестве источника изображения капчи выбирают видеоряд естественной сцены и формируют два изображения: первое - изображение заднего плана, второе - изображение переднего плана, так что изображение переднего плана располагают в произвольном месте кадра или искажают его пропорции, или вносят искажения в его целостность, или наклоняют его, или производят перечисленные изменения изображения переднего плана в их сочетании, затем второе - изображение переднего плана накладывают поверх первого - изображение заднего плана и формируют автоматически единое изображение - «неестественный коллаж», по крайней мере, одно изображение «неестественного коллажа» демонстрируют пользователю капчи. Способ идентификации пользователя компьютера «человек или интернет-робот», включающий этапы: (а) формируют базу исходных изображений для демонстрации пользователям, (б) выбирают случайным образом из базы изображений, которую заранее формируют, одно или более изображений, (в) на экран пользователя выводят вопрос капчи пользователю в текстовом виде - в вопросах к изображению используют одно или несколько слов из списка: «неестественное», «естественное», «коллаж», (г) выполняют сравнения параметров ответных действий пользователя, которые сохраняют на этапе (в) с параметрами описания изображения, которые формируют на этапе (б), (д) в случае не совпадения параметров, полученных в результате восприятия пользователем и параметров хранящихся на сервере пользователь получает отказ в доступе к ресурсу или наоборот, при положительном результате сравнения пользователю предоставляется доступ к информации, отличающийся тем, что в качестве источника изображения капчи выбирают видеоряд естественной сцены и формируют два изображения: первое - изображение заднего плана, второе - изображение переднего плана, так что изображение переднего плана располагают в произвольном месте кадра или искажают его пропорции, или вносят искажения в его целостность, или наклоняют его, или производят перечисленные изменения изображения переднего плана в их сочетании, затем второе - изображение переднего плана накладывают поверх первого - изображение заднего плана и формируют автоматически единое изображение - «неестественный коллаж», по крайней мере, одно изображение «неестественного коллажа» демонстрируют пользователю капчи.

Федеральное государственное бюджетное учреждение "Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт" (RU)

Группа изобретений относится к контрольно-измерительной технике, применяемой, в частности, в офтальмологии. Способ состоит в задании взаимного расположения, синхронизованных между собой по времени детектирующих изображений объекта в пространстве, средств. Получают изображения сегментов объекта с разных позиций расположения детектирующих изображения объекта средств. Оценивают, регистрируют пространственное положение, ориентацию сегментов объекта, воспроизводят из полученных изображений сегментов объекта изображение объекта в целом. При воспроизведении передают изображение объекта на визуально воспринимаемый носитель. Каждое детектирующее изображения объекта средство ориентируют на заданный сегмент объекта автономно. Обработку поступающих изображений ведут для тех из них, параметры которых удовлетворяют предварительно заданным сегментам. Формируют систему координат, привязанную непосредственно к детектирующим изображения средствам. Определяют и регистрируют координаты области расположения сегментов объекта в пространстве относительно сформированной системы координат. Воспроизведение изображения объекта в целом осуществляют не менее, чем по трем различным изображениям заданных сегментов. Применение данной группы изобретений обеспечивает проведение пассивной, дистанционной регистрации пространственного положения глаз. 2 н. и 5 з.п.ф-лы, 7 ил.

Федеральное государственное бюджетное учреждение "Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт" (RU)

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники. Техническим результатом является снижение шумов, вносимых внешними источниками, на этапе регистрации изображений. Способ состоит в задании взаимного расположения детектирующих изображения интересующего объекта устройств, которые производят последовательное или синхронное детектирование интересующего объекта в различных спектральных диапазонах. Получают изображение целого объекта с некоторым фоном с помощью одного детектирующего устройства, имеющего чувствительность в дальнем ИК диапазоне, отделяют на данном изображении сам объект от фона, а также выделяют отдельные сегменты объекта и локализуют их на данном изображении. Производят локализацию аналогичных сегментов объекта на изображениях, полученных с остальных детектирующих устройств, имеющих чувствительность в обычном видимом и/или ближнем ИК диапазоне, либо независимо от первого детектирующего устройства ориентируют данные детектирующие устройства в пространстве относительно первого детектирующего устройства таким образом, что они детектируют изображения сегментов объекта, локализованных на изображениях с первого детектирующего устройства. Рассчитывают ориентацию сегментов объекта и направленность линии взгляда. 1. Способ определения направленности взгляда, состоящий в том, что устанавливают не менее двух предварительно калиброванных детектирующих устройств изображения объекта в пространстве (ДУ), по крайней мере, одно из которых регистрирует изображения в дальнем ИК диапазоне со спектральным диапазоном чувствительности >=3000 нм, а остальные регистрируют изображения в видимом диапазоне 400-1000 нм, при этом ДУ, регистрирующее изображения в ИК диапазоне, установлено неподвижно, все ДУ регистрируют изображения области пространства, соответствующей образу объекта, результаты регистрации обрабатывают с помощью блока сбора и обработки информации БСОИ, при этом вначале регистрируют изображения части пространства ДУ, обладающим чувствительностью в дальнем ИК диапазоне с длиной волны >3000 нм, и получают ИК изображения объекта и некоторого фона за ним, после чего производят обработку полученного ИК изображения, отделяя объект от фона и локализуя области на изображении, соответствующие образу объекта, на локализованной части изображения выделяют отдельные сегменты объекта, также локализуя их на изображении, после чего определяют координаты этих сегментов в координатной системе, привязанной к изображению, регистрируют изображения части пространства ДУ, обладающего чувствительностью в видимом диапазоне 400-1000 нм, производят перерасчет координат сегментов, полученных при регистрации в ИК диапазоне, в координаты, привязанные изображениям с ДУ, имеющими чувствительность в видимой области, после чего локализуют соответствующие сегменты объекта на изображениях видимого диапазона и рассчитывают направленность линии взгляда для случая, если ДУ ИК диапазона и видимого диапазона фиксированы друг относительно друга, или производят перерасчет координат сегментов, полученных при регистрации в ИК диапазоне, в координаты ориентации ДУ видимого диапазона, после чего ориентируют ДУ видимого диапазона и регистрируют часть пространства, содержащую образы выделенных сегментов объекта на ИК изображениях, и на основании полученных изображений рассчитывают направленность линии взгляда для случая, если ДУ ИК диапазона и видимого диапазона подвижны друг относительно друга. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что ДУ калибруют, преобразуя координаты положения объекта и/или его сегментов на изображениях, получаемых с ДУ ИК диапазона, в координаты положения объекта на изображениях, получаемых с ДУ видимого диапазона, для случая, если все ДУ фиксированы друг относительно друга. 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что ДУ калибруют, преобразуя координаты положения объекта и/или его сегментов на изображениях, получаемых с ДУ ИК диапазона, в координаты ориентации ДУ видимого диапазона относительно ДУ ИК диапазона для регистрации сегментов объекта, локализованных на ИК изображениях в случае, если ДУ видимого диапазона подвижны относительно ДУ ИК диапазона. 4. Способ по п.2, отличающийся тем, что регистрацию изображения части пространства в инфракрасном и видимом диапазоне проводят одновременно. 5. Способ по п.3, отличающийся тем, что регистрацию изображения части пространства в ИК и видимом диапазоне проводят последовательно. 6. Способ по любому из пп.1-5, отличающийся тем, что производят обработку сначала ИК изображения, отделяя изображения от фона с помощью анализа градиентов тепловых полей. 7. Способ по п.6, отличающийся тем, что после отделения объекта от фона производят определение положения отдельных сегментов объекта на изображении, используя анализ градиентов тепловых полей. 8. Способ по п.7, отличающийся тем, что после определения положения сегментов на ИК изображении находят данные сегменты на изображениях видимого диапазона с использованием данных калибровки для случая, если все ДУ фиксированы друг относительно друга. 9. Способ по п.7, отличающийся тем, что после определения положения сегментов на ИК изображении на основании калибровки ориентируют ДУ видимого диапазона таким образом, что они производят регистрацию области пространства, содержащую образы сегментов объекта, локализованных на ИК изображениях, для случая, если ДУ видимого диапазона подвижны относительно ДУ ИК диапазона. 10. Способ по любому из пп.7, 8, отличающийся тем, что рассчитывают направленность линии взгляда на основании изображений, полученных с ДУ видимого диапазона, выводя результаты обработки на визуально воспринимаемый носитель. 11. Способ по п.3, отличающийся тем, что в качестве объекта определяют лицо пользователя, а в качестве сегментов - глаза пользователя. 12. Устройство определения направленности взгляда, включающее не менее двух размещенных в пространстве детектирующих изображения объекта средств (ДУ), по крайней мере, одно из которых регистрирует изображения в дальнем ИК диапазоне (спектральный диапазон чувствительности >=3000 нм), а остальные регистрируют изображения в видимом диапазоне (спектральный диапазон чувствительности 400-1000 нм), при этом ДУ, регистрирующее изображения в ИК диапазоне, установлено неподвижно, и все ДУ соединены с блоком сбора и обработки информации БСОИ. 13. Устройство по п.12, отличающееся тем, что ДУ видимого диапазона установлены неподвижно. 14. Устройство по п.12, отличающееся тем, что ДУ видимого диапазона установлены подвижно, при этом исполнительный механизм, обеспечивающий подвижность, соединен с блоком сбора и обработки информации. 15. Устройство по п.13, отличающееся тем, что ДУ установлены так, что их поля зрения совпадают в плоскости перемещения объекта. 16. Устройство по п.14, отличающееся тем, что ДУ установлены так, что их поля зрения не совпадают в плоскости перемещения объекта, при этом поле зрения ДУ ИК диапазона больше поля зрения ДУ видимого диапазона. 17. Устройство по п.12, отличающееся тем, что БСОИ производит сбор изображений со всех ДУ одновременно или последовательно, обработку изображений, производит выработку управляющего сигнала для пространственной ориентации ДУ видимого диапазона, производит расчет направленности линии взгляда.

Федеральное государственное бюджетное учреждение "Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт" (RU)

Изобретение относится к системам локализации аварии на АЭС для улавливания кориума. В расположенной ниже корпуса реактора и предназначенной для охлаждающей жидкости камере установлено средство для приема расплава, выполненное в виде вертикальных труб. Расплав в процессе заполнения камеры подают в трубы, по меньшей мере, частично заполненные карбонатами металлов, которые разлагают до оксидов при нагреве с помощью расплава. В качестве карбонатов металлов, подвергаемых разложению, выбирают карбонаты с двухвалентными катионами: Са, Mg, Fe, Mn, Ва, Sr, Pb, Zn, Cu и др. Устройство для улавливания кориума содержит расположенную ниже корпуса реактора и предназначенную для охлаждающей жидкости камеру, в которой установлены вертикальные трубы для приема расплава. Внутренние полости труб соединены с межтрубным пространством камеры, а верхние концы соединены по своим торцам. Внутренние полости труб содержат проплавляемые вытеснители объема, и, по крайней мере, часть внутренних полостей содержит карбонаты металлов. Карбонаты металлов размещены в проплавляемых вытеснителях объема или выполнены в виде пористых брикетов. Технический результат - безопасное охлаждение кориума. 1. Способ локализации расплава активной зоны ядерного реактора, заключающийся в улавливании, выдерживании и охлаждении расплава в расположенной ниже корпуса реактора и предназначенной для охлаждающей жидкости камере, в которой установлено средство для приема расплава, выполненное в виде вертикальных труб, отличающийся тем, что расплав в процессе заполнения камеры подают в трубы, частично заполненные карбонатами металлов, которые разлагают до оксидов при нагреве с помощью расплава. 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве карбонатов металлов, подвергаемых разложению, выбирают карбонаты с двухвалентными катионами: Са, Mg, Fe, Mn, Ва, Sr, Pb, Zn, Cu. 3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что разложение карбонатов металлов ведут с помощью прямого контакта с расплавом. 4. Способ по п. 1, отличающийся тем, что разложение карбонатов металлов ведут с возможностью вывода диоксида углерода из камеры. 5. Устройство локализации расплава активной зоны ядерного реактора для улавливания расплавленных материалов из ядерного реактора, содержащее расположенную ниже корпуса реактора и предназначенную для охлаждающей жидкости камеру, в которой установлено средство для приема расплава, выполненное в виде вертикальных труб, внутренние полости которых соединены с межтрубным пространством камеры, а верхние концы соединены по своим торцам, и внутренние полости которых содержат проплавляемые вытеснители объема, отличающееся тем, что часть внутренних полостей содержит карбонаты металлов. 6. Устройство по п. 5, отличающееся тем, что карбонаты металлов размещены в проплавляемых вытеснителях объема или выполнены в виде пористых брикетов. 7. Устройство по п. 5, отличающееся тем, что над трубами установлена плавкая металлическая мембрана, профиль которой повторяет профиль верхней поверхности труб. 8. Устройство по п. 5, отличающееся тем, что внутри труб установлены защищающие втулки из термостойкого материала, по крайней мере, часть внешней поверхности которых прилегает к внутренней поверхности труб. 9. Устройство по п. 5, отличающееся тем, что верхние торцы труб соединены между собой дистанционирующими элементами, перекрывающими верхнюю часть межтрубного пространства, которые закрывают верхние торцы труб и выполнены из тугоплавкого материала. 10. Устройство по п. 5, отличающееся тем, что трубы размещены по треугольной или квадратной сетке. 11. Устройство по п. 5, отличающееся тем, что межтрубная полость соединена с пространством над плавкой металлической мембраной каналами, выполненными в виде отверстий в дистанционирующих элементах и мембране. 12. Устройство по п. 5, отличающееся тем, что предназначенная для охлаждающей жидкости камера соединена через отверстия в своей нижней части по крайней мере с одной емкостью, содержащей жидкость, в качестве которой выбрана вода или водный раствор бора, а в верхней части имеет отверстия для выхода диоксида углерода, воды и/или водяного пара.

Федеральное государственное бюджетное учреждение "Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт" (RU)

Изобретение относится к устройствам и способам для измерения характеристик электрических ракетных двигателей (ЭРД): тяги, плотности плазмы и скорости потока. Устройство содержит полый диэлектрический стержень, на одном конце которого установлена приемная пластина-мишень, на другом - опорный элемент, корпус, тензометрический датчик и электронную схему, при этом приемная пластина-мишень является одновременно коллектором зонда Ленгмюра, а площадь коллектора равна площади приемной пластины-мишени, интерфейсный разъем для подключения к источнику напряжения и блоку вычислений, внутри полого диэлектрического стержня проходит проводник, соединенный с приемной пластиной-мишенью, электронная схема, соединяющаяся с тензометрическим датчиком, проводником и с интерфейсным разъемом, размещена внутри корпуса и содержит блоки нормализации сигналов от тензометрического датчика и зонда Ленгмюра с внутренним стабилизатором напряжений питания, в нижней части корпуса прикрепляется экранирующая трубка и расположенный в ее полости тензометрический датчик. Технический результат - мишень, воспринимающая плазменный поток ЭРД, одновременно является зондом Ленгмюра, имеет небольшой размер и не оказывает заметного влияния на параметры потока. 1. Устройство измерения параметров потока плазмы электрических ракетных двигателей (ЭРД), характеризующееся тем, что содержит рычажный элемент, представляющий собой полый диэлектрический стержень, на одном конце которого жестко установлена приемная пластина-мишень, на другом опорный элемент - корпус, выполненный с возможностью закрепления на стенде электрических ракетных двигателей, тензометрический датчик и электронную схему, при этом приемная пластина-мишень является одновременно коллектором зонда Ленгмюра, причем площадь коллектора равна площади приемной пластины-мишени, на верхней части корпуса размещен интерфейсный разъем для подключения к источнику напряжения и блоку вычислений, внутри полого диэлектрического стержня проходит проводник, нижний конец которого электрически соединен с приемной пластиной-мишенью, причем электронная схема, соединяющаяся с тензометрическим датчиком, проводником и с интерфейсным разъемом, размещена внутри корпуса и включает в себя блоки нормализации сигналов от тензометрического датчика и зонда Ленгмюра с внутренним стабилизатором напряжений питания, в нижней части корпуса имеется прилив, к которому винтовым соединением прикрепляется экранирующая трубка и расположенный в ее полости тензометрический датчик, к которому винтовым соединением прикреплена верхняя часть полого диэлектрического стержня. 2. Способ измерения параметров потока плазмы электрических ракетных двигателей (ЭРД), характеризующийся совместной обработкой сигналов от тензометрического датчика и зонда Ленгмюра, при этом приемная пластина-мишень является одновременно коллектором зонда Ленгмюра, причем площадь коллектора равна площади приемной пластины-мишени, определение давления, плотности и скорости потока плазмы ЭРД осуществляют за счет регистрации в плоскости одной приемной пластины-мишени механических и электрических характеристик потока плазмы, а именно: силы давления и ионного тока.

Федеральное государственное бюджетное учреждение "Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт" (RU)

Изобретение относится к формированию интенсивного неоднородного магнитного поля в ограниченном пространстве и может быть использовано для эффективных головок записи на магнитные носители с высокой плотностью информации и устройств для переключения спинтронных нанокомпонентов в электронике, повышения пространственного разрешения, чувствительности и функциональных возможностей магнитных сенсорных устройств, в частности магнитных силовых микроскопов, создание новых типов биочипов для биохимической диагностики среды на основе манипуляторов магнитными нанометками, сепарации биологических нанообъектов и химических веществ по их магнитным свойствам в микро- и нанообъемах и др. Технический результат состоит в повышении пространственного разрешения и управлении величиной и знаком локального поля посредством внешнего магнитного поля. Локализованное магнитное поле формируют в пространстве над зазором между открытыми торцами, лежащими в одной плоскости, двух параллельных ферромагнитных слоев, разделенных слоем, обеспечивающим антиферромагнитную связь между ферромагнитными слоями. Размеры локализации задают толщиной разделительного слоя между ферромагнитными слоями, которые выполняют из магнитомягких материалов с толщинами слоев h1 и h2, удовлетворяющих соотношению M1h1=M2h2, где M1 и М2 - намагниченности насыщения соответствующих ферромагнитных слоев, а направление поля над зазором задают разностью суммарных магнитных моментов ферромагнитных слоев. 2 н. и 2 з.п. ф-лы, 3 ил.

Учреждение Российской академии наук Институт проблем проектирования в микроэлектронике РАН (RU)

Изобретение относится к области специального технологического оборудования микроэлектроники. Сущность изобретения: способ основан на создании в пристеночной области вакуумной камеры реактора специальной конфигурации магнитного поля, силовые линии которого имеют форму арок, объединенных в кольцевые арочные зоны, сформированные вблизи цилиндрической стенки реактора со стороны вакуумного объема. Зоны расположены последовательно вдоль образующей цилиндрической стенки реактора, количество таких кольцевых зон и протяженность арок управляют настройкой параметров плазмы в области обработки пластины. При этом магнитное поле сосредоточено вблизи стенки реактора и не проникает в область, где расположена обрабатываемая пластина. Для реализации этого способа на внешней стороне цилиндрической вакуумной камеры реактора, изготовленной из диамагнитного материала, устанавливается устройство, представляющее собой систему из постоянных магнитов в виде колец, вектор намагниченности которых направлен вдоль радиуса камеры реактора. Технический результат: предложенный подход позволяет создавать новые и модернизировать существующие плазменные широкоапертурные реакторы с удаленными источниками сильно ионизованной плазмы низкого давления. Способ и устройство обеспечивают высокую латеральную однородность параметров плазмы в зоне обработки пластины и повышение ее плотности при одновременном снижении электронной температуры плазмы и выравнивании ее значений вдоль радиуса реактора. 2 н. и 5 з.п. ф-лы, 6 ил.

ФТИАН