+7 499 196 95 39
Изобретение относится к кристаллографии и технике детектирования ионизирующих излучений. Способ изготовления керамических пластин из оксида галлия, характеризуется тем, что исходный микропорошок β-Ga2O3 подают вместе с потоком транспортирующего газа в плазмотрон постоянного тока с самоустанавливающейся длиной дуги, вихревой стабилизацией и расширяющимся газоразрядным трактом, находящийся в открытой атмосфере. Продукты взаимодействия плазмы и микропорошка β-Ga2O3 направляют на плоскую подложку, установленную в конце плазменного потока нормально к потоку газа, а после выключения плазмотрона и остывания всех частей системы отделяют керамическую пластину β-Ga2O3 от подложки механически. При этом размер частиц микропорошка β-Ga2O3 составляет 5÷50 мкм; скорости подачи в плазмотрон транспортирующего микропорошок и проточного газа 0.18÷0.22 г с-1 и 1.4÷1.6 г с-1, соответственно, состав газа - смесь аргона и азота (0.7Ar+0.3N2 по весу), сила тока дуги 148÷152 А. Изобретение обеспечивает наличием отклика в виде интенсивного электромагнитного сигнала на внешнее воздействие ионизирующим излучением. 3 з.п. ф-лы, 7 ил., 6 пр.