Изобретение относится к области квантовых технологий, к способу создания рабочего элемента для генераторов терагерцового излучения. Способ изготовления рабочего элемента устройства для генерации терагерцового излучения отличается от известного способа тем, что поры первоначально заполняют на 15-30% их длины первым металлом или сплавом, Ni или FeNi, используя первый электролит, а затем продолжают заполнение пор еще на 15-30% их длины вторым металлом или сплавом, Со или FeCo, используя второй электролит. Гальваническое заполнение пор вторым металлом или сплавом начинают через 5-10 минут после окончания заполнения пор первым металлом или сплавом, далее гальванически осаждают медь в поры. Медь первоначально заполняет поры до конца их длины, а далее осаждается на поверхности мембраны, формируя со второй стороны мембраны контактные медные полоски, соответствующие первоначально нанесенной маске, изготавливают рабочий элемент из полученной заготовки в форме ленты путем вырезания под углом 45° к направлению полосок, габаритные характеристики выбирают экспериментально в соответствии с требуемым электрическим сопротивлением элемента. Технический результат – повышение электрического сопротивления. 7 з.п. ф-лы, 3 ил.