СПОСОБ ОЧИСТКИ ТРЕХХЛОРИСТОГО ФОСФОРА

Изобретение может быть использовано для получения полупроводниковых соединений. Осуществляют термообработку треххлористого фосфора в паровой фазе при температуре 350-450°С на неорганических оксидных сорбентах, модифицированных редкоземельными элементами. Полученный пар конденсируют и конденсат подвергают ректификационной очистке. Далее осуществляют микрофильтрацию жидкого ректификата при температуре -85 - (-90°С) на полимерных микрофильтрах с размерами пор на уровне 0,2-0,5 мкм. Фильтрат испаряют в режиме беспузырькового кипения, а паровую фазу очищают микрофильтрацией при температуре 75-95°С. В качестве неорганических оксидных сорбентов используют сорбенты на основе оксида алюминия, оксида кремния, модифицированных редкоземельными элементами. Способ обеспечивает глубокую очистку треххлористого фосфора и позволяет получать продукт, содержащий примеси ряда элементов, например алюминия, галлия, железа, селена, серы, на уровне 1?(10-7-10-8) мас.% каждого. 1. Способ очистки треххлористого фосфора, включающий ректификационную обработку очищаемого продукта, отличающийся тем, что очищаемый треххлористый фосфор дополнительно подвергают предварительной термообработке в паровой фазе при 350-450°С на неорганических оксидных сорбентах, модифицированных редкоземельными элементами, затем пар конденсируют и конденсат очищают ректификацией, после чего жидкий ректификат очищают микрофильтрацией при температуре (-85)-(-90)°С, фильтрат испаряют в режиме беспузырькового кипения и очищают паровую фазу микрофильтрацией при температуре 75-95°С.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве неорганических оксидных сорбентов предпочтительно используют сорбенты на основе оксида алюминия, оксида кремния, модифицированных редкоземельными элементами.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что микрофильтрационную очистку проводят на полимерных фильтрах с размерами пор на уровне 0,2-0,5 мкм.