Изобретение может быть использовано при производстве полупроводников и в микроэлектронике. Шлифовальный порошок, содержащий карбид кремния, оксид кремния, кремний и металлические примеси, обрабатывают органическими растворителями и/или осушают. Затем обрабатывают бромоформом и/или дибромметаном в герметических условиях при давлении не выше 0,2 атм при механическом перемешивании. Выделенный карбид кремния в виде тяжелой фракции содержит 95-98% основного продукта, а исходный обрабатываемый порошок 3-55 мас.% карбида кремния. 1. Способ обработки шлифовальных порошков, содержащих карбид кремния, оксид кремния, кремний и металлические примеси, с помощью химических реагентов и последующим выделением очищенного карбида кремния, отличающийся тем, что в качестве химических реагентов используют бромоформ и/или дибромметан, причем процесс обработки исходных порошков проводят при механическом перемешивании в герметических условиях при давлении не выше 0,2 атм.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что исходные шлифовальные порошки, загрязненные органическими примесями, предварительно обрабатывают органическими растворителями.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что исходные увлажненные шлифовальные порошки подвергают предварительной осушке.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что исходные шлифовальные порошки, загрязненные органическими примесями, предварительно обрабатывают органическими растворителями.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что исходные увлажненные шлифовальные порошки подвергают предварительной осушке.