Изобретение относится к вакуумной ионно-плазменной технике, предназначенной для генерации ионных пучков, применяемых при модификации поверхностей изделий и для нанесения покрытий металлов и их соединений на подложку в машино- и приборостроении и других областях техники. Технический результат – повышение однородности импульсного ионного пучка, надежности, ресурса и ремонтопригодности ионного источника. Источник ионов металлов с протяженным пучком состоит из вакуумной камеры, внутри которой расположены импульсные дуговые испарители (ИДИ), подключенные к системе электропитания, содержащей зарядное устройство, систему поджига, задающий генератор импульсов. На опорном фланце методом пайки и болтовым соединением закреплены высоковольтный изолятор, ускоряющий электрод и супрессор с электроконтактом. На другом торце изолятора болтовым соединением закреплен высоковольтный фланец, на котором в определенном порядке болтовыми соединениями закреплены импульсные дуговые испарители ИДИ1, ИДИ2, … ИДИn, электрические выводы которых организованы через индивидуальные гермовводы и методом пайки присоединены к системе электропитания источника. 1. Источник ионов металлов с протяженным пучком, состоящий из вакуумной камеры, внутри которой расположены импульсные дуговые испарители (ИДИ), подключенные к системе электропитания, содержащей зарядное устройство, систему поджига, задающий генератор импульсов, отличающийся тем, что на опорном фланце методом пайки или болтовым соединением закреплены высоковольтный изолятор, ускоряющий электрод и супрессор с электроконтактом, подсоединенным к источнику питания супрессора, при этом на другом торце изолятора болтовым соединением закреплен высоковольтный фланец, на котором в определенном порядке болтовыми соединениями закреплены импульсные дуговые испарители ИДИ1, ИДИ2, … ИДИn в количестве не менее 3, электрические выводы которых организованы через индивидуальные гермовводы и методом пайки присоединены к системе электропитания источника, которая в свою очередь состоит из генератора импульсов, передающего запускающие импульсы на генератор импульсов тока, возбуждающий первичную обмотку управляющего трансформатора, на вторичных обмотках которого при этом появляется высоковольтное напряжение, передающееся на поджигающие электроды ИДИ1, ИДИ2, … ИДИn.
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что ИДИ расположены в определенном порядке с шагом между осями смежных ИДИ - а, расстоянием от ИДИ до стенок разрядной камеры - а/2, расстоянием от испаряемой мишени катодов до поверхности эмиссионной сетки - h, причем значение h находится в диапазоне от 0,7 до 1,5 значения а.
3. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что электропитание каждого ИДИ в отдельности и всего источника ионов в целом осуществляется от единого импульсного трансформатора и генератора импульсов тока, управляемых генератором импульсов.
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что ИДИ расположены в определенном порядке с шагом между осями смежных ИДИ - а, расстоянием от ИДИ до стенок разрядной камеры - а/2, расстоянием от испаряемой мишени катодов до поверхности эмиссионной сетки - h, причем значение h находится в диапазоне от 0,7 до 1,5 значения а.
3. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что электропитание каждого ИДИ в отдельности и всего источника ионов в целом осуществляется от единого импульсного трансформатора и генератора импульсов тока, управляемых генератором импульсов.