Программа численно решает задачу о Кнудсеновской диффузии нейтральных частиц, попадающих на поверхность микроструктуры, в процессе глубокого анизотропного травления. Программа позволяет рассчитывать вероятности достижения частицами дна структуры для произвольной топологии маски и коэффициента прилипания частицы к поверхности. Область моделирования ограничивается прямоугольным параллелепипедом. Профиль структуры представлен треугольной сеткой. Распределение скоростей падающих и отраженных частиц моделируется косинусным распределением, а расчет траектории оптимизируется с помощью иерархии ограничивающих объёмов. Рассчитанные значения вероятностей позволяют моделировать травление высокоаспектных микроструктур в режиме, когда скорость травления ограничивается потоками нейтральных частиц на дно структуры. Тип ЭВМ: IBM РС-совмест. ПК; рабочие станции; ОС: Windows; Linux.