Программа позволяет промоделировать профиль рельефа, получаемого методом сухого электронно-лучевого травления резиста при заданных параметрах процесса. В алгоритме моделирования учитывается рассеяние электронного пучка, разрывы молекул резиста, термическая деполимеризация резиста с последующей диффузией мономера, а также процессы растекания. Для описания рассеяния электронного пучка и разрывов молекул резиста используется метод Монте-Карло с дискретными потерями энергии, для описания деполимеризации резиста - кинетическая модель с функцией Шульца-Цимма молекулярно-массового распределения резиста, для описания процессов растекания - подход на основе метода конечных элементов. Программа написана на языке Python, имеет клавиатурно-файловый интерфейс ввода данных, вывод результатов моделирования производится в файлы формата .npy. ОС: Windows, Linux, OS X.