+7 499 196 95 39
Программа позволяет промоделировать локальное распределение молекулярной массы полимерного резиста в ходе его термической деполимеризации при экспонировании электронным лучом в условиях повышенной температуры. Входными данными программы являются средняя длина кинетической цепи деполимеризации, исходные значения среднечисловой и средневесовой молекулярной массы резиста и распределение разрывов молекул резиста. На основе распределения разрывов моделируется константа скорости инициирования кинетической цепи, которая в дальнейшем используется при решении системы кинетических уравнений, описывающих деполимеризацию резиста. Решение системы производится методом Рунге-Кутты 4 порядка при приближении распределения молекулярной массы резиста распределением Шульца-Цимма. Программа имеет клавиатурно-файловый интерфейс ввода данных, вывод результатов моделирования производится в файлы формата .npy. ОС: Windows, Linux, OS X.