Программа позволяет промоделировать рельеф, получаемый в резисте методом электронно-лучевой литографии при заданных условиях экспонирования и проявления. Для моделирования рассеяния электронного пучка используется алгоритм Монте-Карло, что позволяет получить распределение энергии, выделившейся в слое резиста. Данное распределение используется для определения скорости растворения проэкспонированных участков резиста в различных проявителях. Для каждого участка рассчитывается время полного растворения, после чего моделируется движение границы резист-растворитель с течением времени проявления. Программа написана на языке Python, имеет клавиатурно-файловый интерфейс ввода данных, вывод результатов моделирования производится в файлы формата .npy. ОС: Windows, Linux, OS X.