Полезная модель относится к области вакуумной техники и предназначена для повышения герметичности и цикличности срабатывания крупногабаритных, прогреваемых сверхвысоковакуумных затворов (Ду 250 мм и более) при наличии пыли в вакуумной системе. Техническим результатом полезной модели является повышение надежности многократной герметизации перекрываемой магистрали. Для достижения этого результата предложен сверхвысоковакуумный затвор, содержащий корпус с запирающими кольцами, снабженными герметизирующими поверхностями, уплотнительное кольцо и уплотнительный диск с уплотняющими выступами, механизм перемещения уплотнительного кольца и уплотнительного диска, механизм герметизации затвора с возможностью сжатия уплотняющих выступов уплотнительного кольца и диска с герметизирующими поверхностями запирающих колец, патрубок системы откачки, при этом уплотняющие выступы уплотнительного диска выполнены упругоэластичными. Вокруг упругоэластичного уплотняющего выступа уплотнительного диска установлен трубопровод с охлаждающей жидкостью. Уплотнительный диск выполнен с двумя упругоэластичными уплотняющими выступами. На запирающих кольцах, кроме имеющихся герметизирующих поверхностей, дополнительно выполнены внешние герметизирующие поверхности, причем уплотняющие выступы уплотнительного диска выполнены с возможностью их сжатия с внешними герметизирующими поверхностями запирающих колец, а уплотняющие выступы уплотнительного кольца выполнены с возможностью их сжатия с внутренними поверхностями запирающих колец. 1. Сверхвысоковакуумный затвор, содержащий корпус с запирающими кольцами, снабжёнными герметизирующими поверхностями, уплотнительное кольцо и уплотнительный диск с уплотняющими выступами, механизм перемещения уплотнительного кольца и уплотнительного диска, механизм герметизации затвора с возможностью сжатия уплотняющих выступов уплотнительного кольца и диска с герметизирующими поверхностями запирающих колец, патрубок системы откачки, отличающийся тем, что уплотняющие выступы уплотнительного диска выполнены упругоэластичными.
2. Сверхвысоковакуумный затвор по п. 1, отличающийся тем, что вокруг упругоэластичного уплотняющего выступа уплотнительного диска установлен трубопровод с охлаждающей жидкостью.
3. Сверхвысоковакуумный затвор по п. 1, отличающийся тем, что уплотнительный диск выполнен с двумя упругоэластичными уплотняющими выступами.
4. Сверхвысоковакуумный затвор по п. 1, отличающийся тем, что на запирающих кольцах, кроме имеющихся герметизирующих поверхностей, дополнительно выполнены внешние герметизирующие поверхности, причём уплотняющие выступы уплотнительного диска выполнены с возможностью их сжатия с внешними герметизирующими поверхностями запирающих колец, а уплотняющие выступы уплотнительного кольца выполнены с возможностью их сжатия с внутренними поверхностями запирающих колец.
2. Сверхвысоковакуумный затвор по п. 1, отличающийся тем, что вокруг упругоэластичного уплотняющего выступа уплотнительного диска установлен трубопровод с охлаждающей жидкостью.
3. Сверхвысоковакуумный затвор по п. 1, отличающийся тем, что уплотнительный диск выполнен с двумя упругоэластичными уплотняющими выступами.
4. Сверхвысоковакуумный затвор по п. 1, отличающийся тем, что на запирающих кольцах, кроме имеющихся герметизирующих поверхностей, дополнительно выполнены внешние герметизирующие поверхности, причём уплотняющие выступы уплотнительного диска выполнены с возможностью их сжатия с внешними герметизирующими поверхностями запирающих колец, а уплотняющие выступы уплотнительного кольца выполнены с возможностью их сжатия с внутренними поверхностями запирающих колец.