Полезная модель относится к вакуумной уплотнительной технике и позволяет повысить надежность сверхвысоковакуумного фланцевого соединения. Техническим результатом является повышение надежности сохранения герметичности разъемных сверхвысоковакуумных уплотнительных соединений с большим проходным сечением (Ду 250 мм и более), эксплуатируемых при термоциклировании. Для достижения этого результата предложено сверхвысоковакуумное уплотнительное соединение, содержащее фланцы с герметизирующими выступами, расположенными со стороны вакуумируемого пространства относительно опорных поверхностей фланцев, жесткое центрирующее кольцо с направляющей поверхностью, установленное на опорных поверхностях фланцев, размещенное со стороны атмосферы относительно опорных поверхностей фланцев, уплотнитель, размещенный со стороны вакуумируемого пространства между герметизирующими выступами фланцев, узел стягивания фланцев, снабженный упругими силовыми элементами, выполненными как в виде тарельчатых пружин, так и в виде набора разъемных гибких колец (типа рессоры). Одна из направляющих поверхностей жесткого центрирующего кольца выполнена в виде конуса. 1. Сверхвысоковакуумное уплотнительное соединение, разделяющее вакуумируемое пространство от атмосферы, содержащее фланцы с герметизирующими выступами и опорными поверхностями, жесткое центрирующее кольцо с направляющей поверхностью, установленное на опорных поверхностях фланцев, уплотнитель, размещенный между герметизирующими поверхностями фланцев, узел стягивания фланцев, отличающееся тем, что уплотнитель и герметизирующие выступы фланцев размещены со стороны вакуумируемого пространства относительно опорных поверхностей фланцев, жесткое центрирующее кольцо размещено со стороны атмосферы относительно опорных поверхностей фланцев, а узел стягивания фланцев снабжен упругими силовыми элементами.
2. Соединение по п. 1, отличающееся тем, что узел стягивания фланцев снабжен упругими силовыми элементами, выполненными в виде тарельчатых пружин.
3. Соединение по п. 1, отличающееся тем, что узел стягивания фланцев снабжен упругими силовыми элементами, выполненными в виде набора разъемных гибких колец типа рессоры.
4. Соединение по п. 1, отличающееся тем, что одна из опорных поверхностей жесткого центрирующего кольца выполнена в виде конуса.
2. Соединение по п. 1, отличающееся тем, что узел стягивания фланцев снабжен упругими силовыми элементами, выполненными в виде тарельчатых пружин.
3. Соединение по п. 1, отличающееся тем, что узел стягивания фланцев снабжен упругими силовыми элементами, выполненными в виде набора разъемных гибких колец типа рессоры.
4. Соединение по п. 1, отличающееся тем, что одна из опорных поверхностей жесткого центрирующего кольца выполнена в виде конуса.