Лазерный источник многозарядных ионов с электронным циклотронным резонансом, состоящий из корпуса с вакуумным насосом, удаляющим из корпуса балластный (фоновый) газ, лазера, установленного на корпусе, мишени, которая установлена в первой ступени данного источника ионов таким образом, что излучение лазера, проходя через мембрану в корпусе, прозрачную для лазерного излучения, попадает на мишень в области центральной продольной оси и генерирует лазерную плазму с высокой плотностью частиц. Плазма, содержащая многозарядные ионы материала мишени, дрейфуя в продольном направлении с кинетической энергией ионов порядка нескольких кэВ, попадает во вторую ступень. Во второй ступени осуществляется дополнительное увеличение зарядового состояния ионов плазмы в результате многократной ударной ионизации их электронами с энергией (температурой), увеличенной в результате электронного циклотронного резонанса. Нагрев электронов и удержание заряженных частиц плазмы во второй ступени реализуются подачей в нее СВЧ-электромагнитных колебаний по волноводу от генератора переменного СВЧ-электрического поля и наличием в ней магнитного поля сложной конфигурации с минимальной величиной на центральной продольной оси источника. Такое магнитное поле создается суперпозицией продольного, аксиально-симметричного магнитного поля, формируемого установленными на корпусе электромагнитными соленоидами, и мультипольного магнитного поля, величина которого на центральной продольной оси источника приближается к нулю и резко нарастает в пристеночной области. Это магнитное поле создается на всем протяжении второй ступени при помощи постоянных магнитов из SmCo, установленных по периметру корпуса как предложено в настоящей полезной модели. Отбор ионов из плазмы и формирование ионного пучка осуществляются при помощи электродов системы экстракции и ускорения ионов, установленных на выходе данного источника ионов. Создание на начальном этапе лазерной плазмы с большим содержанием многозарядных ионов и высокой скоростью продольного движения заряженных частиц позволяет уменьшить потери ионов при перезарядке и уходе из области ионизации в магнитной ловушке с дополнительной ионизацией их электронами, температура которых повышена при помощи электронного циклотронного резонанса. Перечисленные выше факторы способствуют увеличению интенсивности и зарядового состояния ионного пучка на выходе источника, предлагаемого в качестве полезной модели, а также увеличению мощности лазерного излучения. 1. Лазерный источник многозарядных ионов с электронным циклотронным резонансом, состоящий из двух ступеней, в первой ступени которого установлены: лазер на корпусе источника и мишень из рабочего вещества на центральной продольной оси, расположенные таким образом, что обеспечивается попадание излучения лазера на мишень в области центральной продольной оси, а также вакуумный насос, предназначенный для откачки балластного газа; во второй ступени источника установлены электромагнитные соленоиды на корпусе источника таким образом, что они позволяют формировать во второй ступени продольное аксиально-симметричное магнитное поле, постоянные магниты, установленные по периметру корпуса таким образом, что они позволяют формировать на всем протяжении второй ступени мультипольное магнитное поле, величина которого на центральной продольной оси источника приближается к нулю и резко нарастает при удалении от нее в радиальном направлении, а также генератор переменного СВЧ-электрического поля, волновод, предназначенный для ввода переменного СВЧ-электрического поля в эту ступень, системы экстракции и ускорения ионов.
2. Лазерный источник многозарядных ионов с электронным циклотронным резонансом по п. 1, в котором попадание излучения лазера на мишень в области центральной продольной оси обеспечивается перемещением мишени относительно неподвижного лазера.
3. Лазерный источник многозарядных ионов с электронным циклотронным резонансом по п. 1, в котором попадание излучения лазера на мишень в области центральной продольной оси обеспечивается перемещением лазера относительно неподвижной мишени.
4. Лазерный источник многозарядных ионов с электронным циклотронным резонансом по п. 1, в котором попадание излучения лазера на мишень в области центральной продольной оси обеспечивается перемещением мишени и лазера относительно друг друга.
2. Лазерный источник многозарядных ионов с электронным циклотронным резонансом по п. 1, в котором попадание излучения лазера на мишень в области центральной продольной оси обеспечивается перемещением мишени относительно неподвижного лазера.
3. Лазерный источник многозарядных ионов с электронным циклотронным резонансом по п. 1, в котором попадание излучения лазера на мишень в области центральной продольной оси обеспечивается перемещением лазера относительно неподвижной мишени.
4. Лазерный источник многозарядных ионов с электронным циклотронным резонансом по п. 1, в котором попадание излучения лазера на мишень в области центральной продольной оси обеспечивается перемещением мишени и лазера относительно друг друга.