Полезные модели

Полезная модель относится к электронике, микроэлектронике, сенсорике и может найти широкое применение в системах мониторинга состава окружающей среды. Технической задачей полезной модели является расширение функциональных возможностей адсорбционно-резистивного газового сенсора на основе оксидов металлов, за счет увеличения количества селективно детектируемых газов. Решение поставленной задачи достигается тем, что адсорбционно-резистивный газовый сенсор, содержащий диэлектрическую подложку с двумя рабочими областями, которые отделены от диэлектрической подложки сквозной перфорацией и соединены с ней парой перемычек по углам одной из сторон, в первой и второй рабочих областях на одной из сторон диэлектрической подложки сформированы первый и второй нагреватели, тонкопленочные встречно-штыревые системы информационных электродов и, нанесенные поверх них пленки чувствительного материала, изолированные от первого и второго нагревателей диэлектрической пленкой, на обратной стороне диэлектрической подложки в первой и второй рабочих областях сформированы третий и четвертый нагреватели, тонкопленочные встречно-штыревые системы информационных электродов, нанесенные поверх них пленки чувствительного материала, изолированные от третьего и четвертого нагревателей диэлектрической пленкой, на обеих поверхностях диэлектрической подложки также сформированы контактные площадки системы информационных электродов и нагревательных элементов, связанные токопроводящими дорожками с соответствующими элементами первой и второй рабочих областей, контактные площадки нагревательных элементов на обеих поверхностях диэлектрической подложки соединены параллельно через отверстия в диэлектрической подложке, причем диэлектрические пленки выполнены из того же материала, что и диэлектрическая подложка, а их толщины составляют от 80 до 100 нм.

ФТИАН